电容量压力传感器。

压力表主要由压力表元件传感器、压力表电路及工艺连接三部分组成。能够将测压元件所感知的物理参数转换为标准的电讯信号，为其提供二次仪表，如指示报警仪、记录仪、调节器等用于测量、指示和过程调节。

电容量压力传感器是通过改变两板间的高低电位距离，从而改变电流或电压。

两种介质压力通向高低两个压力室，作用于敏感元件的两侧隔膜上，并通过隔膜和元件内的填充液输送至测量膜的两侧。该电容式压力变送器是由被测膜片和两侧绝缘板上的电极组成电容器。在两面压力不一致的情况下，使测量膜产生位移，其位移与压力差成正比，所以两面的电容是不同的。利用振动和解调环节，使信号与压力成比例。与差压变送器一样，电容式压力变送器和电容式绝对压力变送器的工作原理是一样的，所不同的是低压室压力是大气压还是真空。该变送器是电容式压力变送器的A/D转换器，它把解调器的电流转换成由微处理器判断输入压力值的数字信号，由微处理器控制变送器的工作。而且，它实现传感器的线性化。测量范围的重新设定，工程单位的转换，阻尼，开关，传感器的微调等操作，以及诊断和数字通信。

压阻压力传感器。

下面是压力变送器-PT10SR-2480型压阻变送器-卓然天工的产品照片。

单/差压变送器是用来测量液体、气体或蒸汽的液面、密度、压力，然后将其转换为4~20毫安Hart电流信号输出，还可以与HART375或BSTModem相互通讯，并通过它们进行参数设置和过程控制。它和常规电接点压力表的不同之处在于它采用纳米单晶硅作为传感器材料。

感应器模组采用全焊接技术，内部设有一体化过载隔膜、压力传感器和温度传感器。作为温度补偿的参考，温度传感器。正压侧连接在传感器膜盒的高压腔中，负压侧连接在传感器膜盒的低压腔中，通过隔离膜片和填充液，将压力传递到传感器内部的硅片上，改变了压力传感器芯片的阻值，从而引起了检测系统输出电压的变化。电压随压力的变化成正比，然后由适配单元和放大器转换为标准的信号输出。

在此基础上，进一步扩展了单晶硅压阻传感器。

单晶体硅压阻压力传感器的工作原理。

压力传感器是利用单晶硅的压阻效应来制作的。以单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜上采用集成电路工艺，在其特定方向上扩散一组等值电阻。把电阻接在桥路上，把单晶硅片放进传感器的腔体中。

单晶硅在压力变化时会产生应变，使得应变电阻与被测压力成正比地变化，直接扩散到上面，再通过桥式电路得到相应的电压输出信号。